金融界2023年12月2日消息，据国家知识产权局公告，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“一种真空抽液与气液分离装置”，授权公告号CN220110606U，申请日期为2023年6月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体晶圆加工工艺领域，特别是湿法工艺领域的一种真空抽液与气液分离装置，包括真空发生器及气液分离桶；真空发生器具有压缩空气气源连接端、流体抽取端及流体输出端，气液分离桶的顶部开设有排气口、底部开设有排液口，真空发生器的流体输出端与气液分离桶相连通，真空发生器的流体抽取端与设备排废液管道连通，真空发生器的压缩空气气源连接端与外接压缩空气气源连通。本实用新型采用将压缩空气通入真空发生器内，由真空发生器产生负压抽取设备排废液管道内的液体，再输入至气液分离桶内，实现气体与液体的分离排放，能够有效避免设备排废液管道排出废液时发生堵塞的问题。

来源：金融界